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全自动制酸洗综合设备

全自动制酸洗综合设备
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产品特点

·3200片(125*125、156*156)/小时超大产能

·采用第四代最新全直动配液、补液技术.全面完善的防酸、防腐措施,保护到机器每一个角落。

·最新全自动补液技术。

·独特的硅片干燥处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕

·成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身。

·彩色大屏幕人机界面操作.方便参数设置及多工艺方式转换

·高速移载机械手采用松下伺服程序控制.具有高速,防压,自动归正.四点稳定抓取,带钧抱篮等特点。

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