全自动硅芯、硅棒清洗设备

适用于硅芯、硅棒的清洗。

硅芯：12~24条/批，***大144条/小时产能；（硅芯长：2000~2800mm，直径：7~12mm）。

硅棒：1根/批（硅棒长：2000~2800mm，直径：150mm）。

采用旋转清洗方式，保证被洗物各点均被腐蚀。

全面完善的防腐措施，有效避免酸气、液的溢出，保证生产安全有效进行。

高速移载机械手，运行更平稳，定位更可靠，保证运行不产生晃动。

更完善的制冷循环系统，保证工艺药液温度稳定，使腐蚀更彻底完美。

先进的烘干技术，保证硅料各角度干燥。

更人性化的操作界面，采用先进触摸屏终端显示，智能化记忆控制，有效提高工作效率。

主要元器件选用国际知名品牌。

全自动控制配、补液，工艺槽无级循环系统，保证工艺药液的均匀。