单晶炉(NXRJ-CZ9022 B)

主要功能参数 NXRJ-CZ9022 B/P

CCD 相素 2,000,000

个数 单CCD

IRCON 精度 0.1ºC

晶料相关 装料量 120Kg

通用直径 8"/或非标

坩锅直径 20"/22"

晶棒***长尺寸 2010mm

机器外型 中炉内径 900mm

机器安装面积 1750X1550mm

机器高度 7300mm

炉体重量 ~4200Kg

电源系统 输入电源 三相AC380V±5% 240KVA

电源频率 50HZ/60HZ

加热器功率 Max:165Kw Dc55V 3000A

电源装置 1GBT/可控硅

可控硅&变压器 全水冷数字CPU控制

双LCD显示屏 有

籽晶升降 籽晶行程 3200mm

籽晶升速 低速0~10mm/min

高速600mm/min

籽晶转速 0~40RPM

籽晶绳材质 钨质直径2.5mm

坩埚升降 坩埚行程 380mm

坩埚升速 低速0~0.5mm/min

高速100mm/min

坩埚转速 0~21RPM

***大载重 >220Kg

其他 籽晶晃动范围 转速<12RPM时晃动<2mm

炉体水平度 水平<0.06mm/m

极限真空 <3mT

真空漏气率 <0.5mT/min

控制方式 PLC 三菱Q06H/基恩士PLC

PC 高性能PC(双屏)

自动/手动 全自动

称重系统 精度 无

液面测温 控制范围 无