闭管软着陆扩散系统

闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中收集从尾部定向排出；工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环 境干扰，工艺质量完全受控。

◆ 自动控制温度过程及工艺过程，全部采用进口优质产品。

◆ 送取片方式：精心设计制造的软着陆装置，全数字化控制，性能更加稳定可靠，其特点平稳可靠、无爬行、Sic浆实现免清洗、定位   准确、承重量大、使用寿命长。

■ 技术指标

◆ 工作温度：600~1150℃                        

◆ 恒温区长度：1350mm

◆ 温区精度 (静态闭管测试)： 800℃＜工作温度＜1150℃：±0.5℃   600℃≤工作温度≤800℃ ：±1℃

◆ 单点温度稳定性(静态闭管测试)：800℃＜工作温度＜1150℃：±0.5℃/24h    600℃≤工作温度≤800℃：  ±1℃/24h

◆ 温度斜变能力：***大可控升温速度：(600～1150℃) 15℃/min;  ***大可控降温速度：(1150～600℃)  8℃/min

◆ 气体流量设定精度：±0.5％FS                 

◆ 气路系统气密性：1×10-7pa.m3/s

◆ 自动送料装置行程：  ～2000mm    速度：5～1000mm/min     SiC浆承重：19kg

◆ 装片数量： 530片/管（槽间距：4.76mm）                         

◆ 净化台洁净度：100级（10000级厂房）

◆ 三相五线制：380V±10%，50Hz±10%Hz           

◆ 冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min

◆ 1管、2管、3管、4管、5管分别可选；自动装载机械手可选，设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。