无机显影清洗台

一、 设备概况

A. 设备名称：无机显影洗机台

B. 设备型号：KZIC-T-WJDW-04B

C. 整机尺寸：约1500mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H)；

D. 操作台面高度：850±20mm

E. 被清洗工件规格：6 英寸圆片,25片/篮（180mm*145mm*180mm）；

F. 产能：1 篮，25 片/批；

G. 节拍 ：0～99min 可调 ；

H. 设备类型:半自动；

二、 设备特点

A. 骨架：国产优质SUS304 骨架；

B. 外壳：2mm 厚SUS304 镜面板折弯焊接而成；

C. 台面：2mm 厚SUS304 镜面板，台面板有均匀布置的网孔，台面上配有机排放口*1，口径不小于

100mm，带手动盖；

D. KOH/TMAH 槽：2mm 厚SUS316L 镜面板，折弯焊接；

E. QDR 槽：德国进口10mm PP-N 板热熔焊接而成；

F. 管路：管路位于机台下/后部，管道采用CL-PVC 和PPN、PFA 管路相互配合使用；

G. 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量自动调节装置--设备抽风口

配置比例调节阀门，配合上下推拉门使用，门开口越大抽风发口打开越大，反之亦然；

H. 工作照明：机台顶部配防腐防爆黄光照明；

I. 设备后板抽风口上方焊接一条载物台，用于盛放烧杯，手套等物品；

J. DI/N2 GUN：设备配美国应特格PFA 可伸缩的N2 Gun 和DIW Gun 各1 把，置于工作设备右侧；

K. 电器部分:采用台达触摸屏，日本三菱PLC 控制，电器元器件均采用Schneider&Omron；