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去胶清洗台

去胶清洗台
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· 苏州晶洲装备科技有限公司 [江苏省] 加为商业伙伴
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联系人: 刘金升
所在城市: 江苏省 常熟市
详细地址: 辛庄镇光伏产业园光华环路32号
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详细信息  

设备名称:去胶清洗台

适用于:2-6寸晶圆清洗

产品规格

控制模式:半自动控制(工件搬运为手动操作,工艺参数控制过程为自动)

整机尺寸:约2000mm(L)×1200mm(W)×1800mm(H)

操作台面高度:850±20mm

工件:2-6英寸晶圆

产能:25片/槽,50片/槽可按客户产能需求设计 

电源:380V 三相五线制,50HZ,5KW

纯水:CL-PVC 进口DN25 管径,0.2~0.3 MPa 压力,用量MAX:1m³/h

抽风口:φ200*1 抽风量MAX:1000m³/h ,风量口装有蝶阀,可手动调节

CDA: 0.4~0.6 MPa 压力,接管口径 ∮8mm,用量MAX:1m³/h

N2: 0.4~0.6 MPa 压力,接管口径 ∮8mm,用量MAX:1m³/h

设备特点:

1.骨架采用国产优质Q235A 骨架外包3mm 厚PP-W 板保护;外壳采用10mm 厚德国劳士领PP-W 板焊接而成;

2. 采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制;

3. 槽体设置温度、液位监控装置;

4. 药液槽配透明槽盖,有效防止药液挥发,污染;

5.清洗区域配有高效过滤器,无二次污染机会;

6.设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护,防腐防水;

7.设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘,有效防止设备漏液损害厂务地板;

8.用户操作人员上料后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点;

9.设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全;

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