设备名称：全自动SPM超声清洗设备
产品规格
设备型号：KZIC-T-CW-04A
整机尺寸：2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H)(尺寸可据客户需求改变）
生产产品：2~6寸晶圆片
产能：25片/槽可按客户产能需求设计
操作高度：850±50mm
设备特点：
1.设备骨架为SUS304外包3mmPP，外壳采用进口象牙白PVC板热熔焊接；
2.全自动PLC过程控制 ，采用三菱FX-3U系列PLC+台达彩色触摸屏
3.内嵌式电柜和人机界面，更加节省空间
4. 槽体设置温度、液位监控制装置；
5.机械臂手采用直线滑块导向，反向安装，减少油及粉尘污染且便于维护；
6.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。
7.设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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