采用第三代改良西门子技术,独创高效循环生产工艺,引进第二代尾气回收系统(CDI)、DCS控制系统及热氢化装置,其四氯化硅的回收利用率达到99%以上,可实现零排放标准。
多晶号
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1#磷检
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2#磷检
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3#硼检
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4#硼检
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检
验
结
果
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型号
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N
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N
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P
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P
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电阻率(Ω·cm)
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90
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80
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550
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500
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寿命(us)
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250
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290
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氧(at/cm3)
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<5.0X1016
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<5.0X1016
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碳(at/cm3)
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<3.0X1016
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<2.98X1016
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外观与夹层检验
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备注
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样棒夹芯约1/3
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样棒夹芯约1/3
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