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量产型原子沉积设备

量产型原子沉积设备
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联系人: 吴香梅
所在城市: 江苏省 南京市
详细地址: 玄武区中央路258号
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应用:

-硅太阳能电池表面钝化(Surface  Passivation)

-生产用(量产型)

特点:

-过程保证

-高产出:   >1600 wph(30MW)

                 >3200 wph(50MW)

-易于维护

-前躯体源价格经济

-集成化过程模组

-Cassette to Cassette 操作

-气体管路集成化(专利技术)

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