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本装置实现了无损激光剥离，采用超短脉宽的皮秒激光器可以将激光对硅片基底的损伤减到***少，从而获得更高的电池效率。
Ø 采用皮秒激光器，可以实现对背面的无损加工
Ø 采用全柔性输送系统，将碎片率降到***低
Ø 采用高速振镜和DD马达，满足工业化生产的产能要求
Ø 可以用于PERC太阳电池工艺和IBC太阳电池
Ø 世界首台达到产业化要求的激光无损剥离设备
设备外形尺寸
1500(L)×2000(B)×2000(H)
设备重量
2.0吨
硅片尺寸
***大200mm×200mm
硅片厚度
120μm
剥离深度
100nm~200nm
剥离宽度
20μm～100μm
重复精度
片间重合精度±100μm， 单片位置精度±50μm
产能
>1200片/小时
浙公网安备 33010602000811号
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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