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以水电解氢为原料气，经催化除氧，冷凝和吸附干燥及过滤除尘获得≥99.9995%高纯氢气。如需要氢气纯度≥99.9999%,则需采用合金吸气材料进一步净化氢气中残余杂质.本装置结构紧凑，体积较小，纯化效果好，能耗低，催化剂可长期使用,无需再生处理，吸附剂在装置内再生循环使用。超高纯氢气在电子工业部门,用作氢气还原制取半导体超纯材料锗和硅,及用在半导体器件和集成电路的外延工序中及载气和燃烧用气。
浙公网安备 33010602000811号
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