一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板 |
申请号/专利号: |
201110185240.X |
申 请 日: |
2011.07.04 |
名 称: |
一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板 |
公开(公告)号: |
CN102310036A |
公开(公告)日: |
2012.01.11 |
主分类号: |
B05D3/00(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
B05D3/00(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;H05B3/20(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |
发明(设计)人: |
应建平;李洪洪;徐志军 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
常州市维益专利事务所 32211 |
代 理 人: |
王凌霄 |
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专利描述: |
本发明涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板,其由多层不同材料组成,最外侧为载体,然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板,护板为铝板,加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本发明的有益效果是:该铸锭坩埚加热旋转台能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度,提高喷涂质量,减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现,提高多晶硅锭的收益率。 |
标签:天合光能 硅胶 多晶硅 |
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