单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法 |
申请号/专利号: |
201110185321.X |
申 请 日: |
2011.07.04 |
名 称: |
单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法 |
公开(公告)号: |
CN102313624A |
公开(公告)日: |
2012.01.11 |
主分类号: |
G01L21/00(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
G01L21/00(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |
发明(设计)人: |
马赟 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
常州市维益专利事务所 32211 |
代 理 人: |
王凌霄 |
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专利描述: |
本发明涉及单晶炉检测设备技术领域,特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法,包括真空探头和真空压力传感器,真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上,真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接,当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是:加装的真空压力传感器,在设备故障,导致压力异常时及时报警,防止炉压异常造成的生产损失,杜绝炉压过高时产生的安全隐患。 |
标签:天合光能 单晶炉检测设备 单晶 |
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