本发明涉及硅单晶生产的单晶炉设备,旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状,坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管;坩埚轴的内部设有一个空腔,该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构;进水管或出水管延伸至空腔中,且在其延伸段末端外沿环设一挡水板,使得挡水板与坩埚轴前端壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。在原有坩埚轴的基础上,对坩埚轴的内部冷却水流通水路的结构作了合理的优化,坩埚轴冷却效率由原来的30%提高至80%,坩埚轴使用过程中未曾发生与石墨轴烧结、坩埚轴紧固螺丝熔断等现象。 |