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一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构

申请号/专利号:

201210111583.6

申 请 日: 2012-04-15
名 称: 一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构
公开(公告)号: 102677153A 公开(公告)日: 2012-09-19
主分类号: C30B13/30(2006.01)I 分案原申请号:
分 类 号: C30B13/30(2006.01)I
颁 证 日: 优 先 权:
申请(专利权)人:

浙江晶盛机电股份有限公司

*相关专利
地 址: 312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
发明(设计)人:

曹建伟 欧阳鹏根 傅林坚 石刚 陈明杰 王丹涛 蒋庆良 邱敏秀

*相关专利
国际申请:
国际公布: 进入国家日期:
专利代理机构: 代 理 人:
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专利描述:
本发明涉及开门式晶体生长设备,旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路,在进气回路上设电磁阀,通过信号线与控制单元相连;气缸固定于气缸座上,气缸座固定于晶体生长设备的壁上;气缸座内设置滑块,滑块的一端与气缸的轴相连,另一端是密封端;滑块的密封端与门或窗口的侧边相对应,且各设密封面;每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分,两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。该机构在设备处于工作状态的时候,锁紧机构可以锁紧门或窗口等可开式结构,保证设备密封性和安全性,并为整体系统控制提供检测的数据信号,在提高生产效率的同时,保证安全性,实现产业化。
标签:晶盛机电 单晶硅
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