一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构 |
| 申请号/专利号： |
201210111583.6 |
申 请 日： |
2012-04-15 |
| 名 称： |
一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构 |
| 公开(公告)号： |
102677153A |
公开(公告)日： |
2012-09-19 |
| 主分类号： |
C30B13/30(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
C30B13/30(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号 |
| 发明(设计)人： |
曹建伟 欧阳鹏根 傅林坚 石刚 陈明杰 王丹涛 蒋庆良 邱敏秀 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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| 专利描述： |
| 本发明涉及开门式晶体生长设备，旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路，在进气回路上设电磁阀，通过信号线与控制单元相连；气缸固定于气缸座上，气缸座固定于晶体生长设备的壁上；气缸座内设置滑块，滑块的一端与气缸的轴相连，另一端是密封端；滑块的密封端与门或窗口的侧边相对应，且各设密封面；每个密封面均包括相接的平面部分与斜面部分，两个密封面之间的平面部分与斜面部分相互对应且相互匹配。该机构在设备处于工作状态的时候，锁紧机构可以锁紧门或窗口等可开式结构，保证设备密封性和安全性，并为整体系统控制提供检测的数据信号，在提高生产效率的同时，保证安全性，实现产业化。 |
| 标签：晶盛机电 单晶硅 |
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