带水冷热屏的单晶生长炉 |
申请号/专利号: |
201310361500.3 |
申 请 日: |
2013-08-19 |
名 称: |
带水冷热屏的单晶生长炉 |
公开(公告)号: |
103451721A |
公开(公告)日: |
2013-12-18 |
主分类号: |
C30B15/00(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
C30B15/00(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号 |
发明(设计)人: |
朱亮 曹建伟 俞安州 王巍 沈兴潮 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
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代 理 人: |
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专利描述: |
本发明涉及单晶硅生产设备领域,旨在提供带水冷热屏的单晶生长炉。该带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏,水冷热屏包括连接固定的呈倒锥形的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒,且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道,水冷热屏内筒和水冷热屏外筒的上端还连接固定有连接体,水道的进口、出口分别通过连接体与进水管路、出水管路相连接。本发明能够更好地创造一个对结晶有利的温度空间,从而加快晶棒的结晶速度,缩短晶棒的生长时间,提高拉晶效率。 |
标签:晶盛机电 单晶硅 |
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