一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法 |
| 申请号/专利号： |
201410106247.1 |
申 请 日： |
2014-03-20 |
| 名 称： |
一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法 |
| 公开(公告)号： |
103913417A |
公开(公告)日： |
2014-07-09 |
| 主分类号： |
G01N21/00(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
G01N21/00(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号 |
| 发明(设计)人： |
朱亮 傅林坚 叶欣 石刚 沈文杰 陈明杰 孙明 周建灿 杨奎 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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| 专利描述： |
| 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法。该单晶硅棒晶向检测装置用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向，包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护罩、升降护罩、晶向检测传感器；该单晶硅棒晶向检测装置的晶向检测方法包括步骤：操作气缸、开启气源、启动晶向检测传感器并计算圆形单晶硅棒表面到激光发出点的距离最小值，该距离最小值即为晶棒的晶向。本发明能自动检测装夹于工作台上的晶棒的晶向，采用非接触式测量方法，检测精度高、响应快、耗时短、可自动控制；结构简单，陈本低，不需人工参与，适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动控制。 |
| 标签：晶盛机电 单晶硅 |
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