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区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法

申请号/专利号:

201310361470.6

申 请 日: 2013-08-19
名 称: 区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法
公开(公告)号: 103451727A 公开(公告)日: 2013-12-18
主分类号: C30B28/08(2006.01)I 分案原申请号:
分 类 号: C30B28/08(2006.01)I C30B29/06(2006.01)I
颁 证 日: 优 先 权:
申请(专利权)人:

浙江晶盛机电股份有限公司

*相关专利
地 址: 312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号
发明(设计)人:

欧阳鹏根 陈明杰 王丹涛 傅林坚 曹建伟 石刚 邱敏秀 蒋庆良

*相关专利
国际申请:
国际公布: 进入国家日期:
专利代理机构: 代 理 人:
想进一步了解专利详情,请 想以后再联系,请
专利描述:
本发明涉及半导体制造领域,旨在提供区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法。该区熔炉多晶棒保温装置包括设置在多晶棒外部的辅助加热器,辅助加热器的两个端部分别设有接口,接口通过电缆与辅助加热电源相连,辅助加热电源通过信号线依次连接有数据分析模块和红外测温仪;利用该区熔炉多晶棒保温装置对多晶棒进行保温时,红外测温仪实时监测多晶棒下端的温度,数据分析模块通过内置的判断模块来控制辅助加热电源施加在辅助加热器上的电流大小。本发明对多晶棒实现保温,而省去对多晶棒的缓慢冷却和预热过程,一次可节省生产时间一个小时以上,节约电能,并降低多晶棒开裂的风险。
标签:晶盛机电 单晶硅 多晶 熔炉
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