一种大功率中频溅射电源 |
申请号/专利号: |
201520154994.2 |
申 请 日: |
2015-03-19 |
名 称: |
一种大功率中频溅射电源 |
公开(公告)号: |
204529967U |
公开(公告)日: |
2015-08-05 |
主分类号: |
C23C14/35(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
C23C14/35(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西 |
发明(设计)人: |
李红泽 窦久存 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
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代 理 人: |
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专利描述: |
一种大功率中频溅射电源,包括顺序连接的空气开关、快恢复保险管、三相全桥整流电路、滤波电容、DC/DC变换器、DC/AC变换器;其特征为:所述DC/DC变换器由斩波控制电路控制;所述DC/AC逆变器由逆变控制电路控制;所述斩波控制电路输出端与DC/DC变换器中开关管的控制端连接;所述逆变器控制电路的输出端与DC/AC逆变器中开关管的控制端连接。有益效果:增加溅射电源的可靠性、同时采用上述电源结构降低电源成本、其动态特性好。 |
标签:标先电子 电源 |
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