区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法 |
专利号:201310361470.6 |
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明设计人:欧阳鹏根 陈明杰 王丹涛 傅林坚 曹建伟 石刚 邱敏秀 蒋庆良 |
专利描述:本发明涉及半导体制造领域,旨在提供区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法。该区熔炉多晶棒保温装置包括设置在多晶棒外部的辅助加热器,辅助加热器的两个端部分别设有接口,接口通过电缆与辅助加热电源相连,辅助加 ... |
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专利描述:本发明涉及晶体生长炉领域,旨在提供一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法。该单晶硅棒晶向检测装置用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向,包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护 ... |
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专利描述:本发明涉及单晶硅切磨技术,旨在提供一种单晶硅切磨一体机的边皮自动传送机构及传送方法。该装置包括同步带、落料机构、送料机构和停料机构;其中,落料机构包括气缸、翻转机构活动块、翻转机构固定块、翻转板连 ... |
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带水冷热屏的单晶生长炉 |
专利号:201310361500.3 |
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明设计人:朱亮 曹建伟 俞安州 王巍 沈兴潮 |
专利描述:本发明涉及单晶硅生产设备领域,旨在提供带水冷热屏的单晶生长炉。该带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏,水冷热屏包括连接固定的呈倒锥形的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒,且在水冷热屏内筒和水冷热屏外 ... |
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一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置 |
专利号:201210050673.9 |
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明设计人:欧阳鹏根 石刚 傅林坚 曹建伟 陈明杰 王丹涛 邱敏秀 蒋庆良 |
专利描述:本发明涉及非金属晶体的制造设备,旨在提供一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置。该装置包括反射环和主炉室窗口法兰;反射环外侧环设空心冷却管,冷却管的两端接至窗口法兰上的金属密封接头;金属密封伸出窗 ... |
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一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构 |
专利号:201210111583.6 |
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明设计人:曹建伟 欧阳鹏根 傅林坚 石刚 陈明杰 王丹涛 蒋庆良 邱敏秀 |
专利描述:本发明涉及开门式晶体生长设备,旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路,在进气回路上设电磁阀,通过信号线与控制单元相连;气缸固定于气缸座上,气缸座固定于晶 ... |
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具备改进的水冷却结构的坩埚轴 |
专利号:201110186144.7 |
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明设计人:朱亮 王魏 郭建宇 曹建伟 邱敏秀 |
专利描述:本发明涉及硅单晶生产的单晶炉设备,旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状,坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管;坩埚轴的内部设有一个空腔, ... |
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用于单晶炉的外部连续投料机构 |
专利号:201110186157.4 |
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 |
发明设计人:朱亮 曹建伟 邱敏秀 王魏 沈兴潮 |
专利描述:本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备,旨在提供一种用于单晶炉的外部连续投料机构。该投料机构包括一个带密封盖的料仓,料仓底部设放料阀门;放料阀门接于一根放料内管,放料内管的外面套设一根放料外管;放料外 ... |
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专利描述:本发明涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置及方法。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本发明的冷却方法是在铸锭炉内热场下方设置内部带有气流 ... |
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专利描述:本发明涉及直拉硅单晶炉设备,旨在提供一种具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法。该单晶炉有一个主炉室,主炉室上部装配有一个副炉室;该单晶炉还额外配置一个副炉室,两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水 ... |
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