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区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法 专利号:201310361470.6
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:欧阳鹏根 陈明杰 王丹涛 傅林坚 曹建伟 石刚 邱敏秀 蒋庆良
专利描述:本发明涉及半导体制造领域,旨在提供区熔炉多晶棒保温装置及其保温方法。该区熔炉多晶棒保温装置包括设置在多晶棒外部的辅助加热器,辅助加热器的两个端部分别设有接口,接口通过电缆与辅助加热电源相连,辅助加热电源通过信号线依次连接有数据分析模块和红外测温仪;利用该区熔炉多晶棒保温装置对多晶棒进行保温时,红... 查看详情
一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法 专利号:201410106247.1
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:朱亮 傅林坚 叶欣 石刚 沈文杰 陈明杰 孙明 周建灿 杨奎
专利描述:本发明涉及晶体生长炉领域,旨在提供一种单晶硅棒晶向检测装置及其晶向检测方法。该单晶硅棒晶向检测装置用于检测装夹在切方工作台上的圆形单晶硅棒的晶向,包括支架、支撑臂、晶向检测传感器支架、气缸、固定护罩、升降护罩、晶向检测传感器;该单晶硅棒晶向检测装置的晶向检测方法包括步骤:操作气缸、开启气源、启动... 查看详情
单晶硅切磨一体机的边皮自动传送机构及传送.. 专利号:201310240912.1
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:朱亮 傅林坚 叶欣 周建灿 孙明
专利描述:本发明涉及单晶硅切磨技术,旨在提供一种单晶硅切磨一体机的边皮自动传送机构及传送方法。该装置包括同步带、落料机构、送料机构和停料机构;其中,落料机构包括气缸、翻转机构活动块、翻转机构固定块、翻转板连接块、边皮翻转板、边皮翻转板垫板。停料机构包括安装在固定板上的一排滚筒,以及设于滚筒两侧的光电传感器... 查看详情
带水冷热屏的单晶生长炉 专利号:201310361500.3
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:朱亮 曹建伟 俞安州 王巍 沈兴潮
专利描述:本发明涉及单晶硅生产设备领域,旨在提供带水冷热屏的单晶生长炉。该带水冷热屏的单晶生长炉的炉体内设有水冷热屏,水冷热屏包括连接固定的呈倒锥形的水冷热屏内筒和水冷热屏外筒,且在水冷热屏内筒和水冷热屏外筒之间设有水道,水冷热屏内筒和水冷热屏外筒的上端还连接固定有连接体,水道的进口、出口分别通过连接体与... 查看详情
一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构 专利号:201210111583.6
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:曹建伟 欧阳鹏根 傅林坚 石刚 陈明杰 王丹涛 蒋庆良 邱敏秀
专利描述:本发明涉及开门式晶体生长设备,旨在提供一种开门式晶体生长设备的自动锁紧机构。该机构包括气缸和与气缸相连的进气回路,在进气回路上设电磁阀,通过信号线与控制单元相连;气缸固定于气缸座上,气缸座固定于晶体生长设备的壁上;气缸座内设置滑块,滑块的一端与气缸的轴相连,另一端是密封端;滑块的密封端与门或窗口... 查看详情
具备改进的水冷却结构的坩埚轴 专利号:201110186144.7
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:朱亮 王魏 郭建宇 曹建伟 邱敏秀
专利描述:本发明涉及硅单晶生产的单晶炉设备,旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状,坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管;坩埚轴的内部设有一个空腔,该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构;进水管或出水管延伸至空腔中,且在其延伸段末端外沿环设一挡水板,... 查看详情
用于单晶炉的外部连续投料机构 专利号:201110186157.4
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:朱亮 曹建伟 邱敏秀 王魏 沈兴潮
专利描述:本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备,旨在提供一种用于单晶炉的外部连续投料机构。该投料机构包括一个带密封盖的料仓,料仓底部设放料阀门;放料阀门接于一根放料内管,放料内管的外面套设一根放料外管;放料外管与一个用于实现放料外管沿放料内管延长方向伸缩的传动机构连接,放料内管、放料外管及传动机构均设于气密筒... 查看详情
用于多晶铸锭炉的气体冷却装置及方法 专利号:201110040032.0
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:高宇 傅林坚 石刚 叶欣
专利描述:本发明涉及铸造法生长硅晶体的装置,旨在提供一种用于多晶铸锭炉的气体冷却装置及方法。该气体冷却装置设于铸锭炉内热场下方,是内部带有气流通道的石墨体。本发明的冷却方法是在铸锭炉内热场下方设置内部带有气流通道的石墨体;使惰性气体从气流通道的进气口进入,气体流经石墨体内部并带走热量,然后从气流通道的出气口排出... 查看详情
具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法 专利号:201110186275.5
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:朱亮 王魏 孙明 曹建伟 邱敏秀
专利描述:本发明涉及直拉硅单晶炉设备,旨在提供一种具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法。该单晶炉有一个主炉室,主炉室上部装配有一个副炉室;该单晶炉还额外配置一个副炉室,两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水平调整机构、副炉室旋转机构和控制副炉室升降的液压缸,副炉室旋转机构均通过连接件活动安装于支撑柱上;各副... 查看详情
一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备 专利号:201611050275.1
申请人/专利权人:浙江晶盛机电股份有限公司 发明设计人:曹建伟 沈文杰 严浩 傅林坚 吴兵兵 何守龙 谢龙辉 王凯 邱敏秀
专利描述:本发明涉及单晶硅棒加工设备,旨在提供一种全自动单晶硅棒滚磨一体设备。包括呈长条形的大底架,在其表面沿长度方向设有两条平行的主导轨;磨削工作台组件活动安装在两根主导轨上,由主驱动电机通过驱动连接机构实现沿主导轨的移动;在大底架的两侧共设有四个用于承载的平台:分别用于承载粗磨动力头组件、精磨动力头组... 查看详情
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