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硅片有边长125mm、156mm的,125的又分大倒角对角线156mm和小倒角对角线165mm,多晶硅片以边长156mm为主,对角线219.2mm。
硅片检测主要测试项目有:边长、对角线、倒角、厚度、TTV、线痕、崩边、隐裂、翘曲、油污、电阻率、少子寿命。
浙公网安备 33010602000811号