仪器主要特点:
l 采用VICI(Valco)公司的脉冲氦离子化检测器(PDHID),该检测器对几种杂质的检测限如下:
样 品
杂 质
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H2
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O2
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Ar
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N2
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CH4
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CO
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CO2
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Ne
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高纯氢
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-
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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25ppb
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10ppb
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-
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高纯氧
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10ppb
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-
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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25ppb
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10ppb
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-
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高纯氩
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10ppb
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-
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-
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10ppb
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10ppb
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25ppb
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10ppb
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-
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高纯氮
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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-
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10ppb
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50ppb
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10ppb
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-
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高纯氦
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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50ppb
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10ppb
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2-10ppm
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高纯二氧化碳
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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10ppb
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50ppb
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10ppb
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-
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l 所选用的进样/切换阀均为进口吹扫型产品。
l 所有样品流路全部采用内抛光或经钝化处理的316L不锈钢管路,避免管路内壁吸附解吸引起的分析误差。
l 选用经特殊处理过的分子筛填料,避免氧气、一氧化碳非正常吸附所带来的分析误差。
l 仪器采用背压阀升压进样方式,除可减小进样信号波动外,还可在一定程度上提高分析的重复性及灵敏度。
l 载气,样品气均配有2um孔径的过滤器。
l 色谱工作站具有方法无限存储/调用功能,分析不同类型样品时可方便地切换分析方法。