来源:科技日报 更新时间:2023-06-30 08:32:22 [我要投稿] |
记者29日从中国电子科技集团获悉,该集团旗下中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。据悉,离子注入机是芯片制造中的关键装备,28纳米则是当前芯片应用领 ...[查看原文] |
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