薄膜太阳能电池板沉积夹具 |
| 申请号/专利号： |
201020540459.8 |
申 请 日： |
2010.09.25 |
| 名 称： |
薄膜太阳能电池板沉积夹具 |
| 公开(公告)号： |
CN201801592U |
公开(公告)日： |
2011.04.20 |
| 主分类号： |
|
分案原申请号： |
|
| 分 类 号： |
|
| 颁 证 日： |
|
优 先 权： |
|
| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
广东省深圳市南山区侨香路6060香年广场A栋8楼 |
| 发明(设计)人： |
陈五奎;李文江;雷晓全;刘强 *相关专利 |
国际申请： |
|
| 国际公布： |
|
进入国家日期： |
|
| 专利代理机构： |
|
代 理 人： |
|
| 想进一步了解专利详情，请 |
 |
想以后再联系，请 |
 |
|
|
| 专利描述： |
| 本实用新型适用于太阳能电池生产领域，提供了一种薄膜太阳能电池板沉积夹具，包括由两侧板、一前挡板和一后盖构成的金属外壳，所述金属外壳围合形成的腔体内设有一气路板、复数个电极，所述两侧板、前挡板、后盖、气路板两两相互呈绝缘连接，所述气路板上具有均匀分布的通孔，所述复数个电极由多个导电平板排列而成，与所述两侧板平行，且与所述两侧板共同构成电极，相邻两电极之间的空间为放置待沉积电池基板的位置，于所述前挡板上，设有多个可采用非干扰式供电的电极端口。该夹具的气路板具有均匀分布的通气孔，电极为平板电极以及非干扰式供电方式，从而可以有效保证等离子体的均匀性，并能沉积大尺寸薄膜太阳能电池，且薄膜厚度均匀。 |
|
 |
|
相关产品 |
|
 |
|
|
|
太阳能光伏：