一种多晶铸锭的线切割方法 |
申请号/专利号: |
201010620010.7 |
申 请 日: |
2010.12.31 |
名 称: |
一种多晶铸锭的线切割方法 |
公开(公告)号: |
CN102133776A |
公开(公告)日: |
2011.07.27 |
主分类号: |
B28D5/04(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
B28D5/04(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |
发明(设计)人: |
李毕武;刘振淮;黄振飞;贺洁 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
常州市维益专利事务所 |
代 理 人: |
王凌霄 |
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专利描述: |
本发明涉及多晶铸锭线切割技术领域,特别是一种多晶铸锭的线切割方法,该生产方法如下:(一)标记:将多晶铸锭进行开方得到硅块,对铸锭边缘四周靠近坩埚的硅块进行标识,以区分硅块的A、B面,B面靠近坩埚,A面是B面的对应面;(二)将开方后得硅块经IR测试、LT测试、截断、磨面;(三)粘棒:将区分A、B面的硅块的B面粘结在晶托上,其他硅块正常粘棒,待粘胶固化后上棒切片;(四)切片:将固化好的硅块上机切片,区分A、B面的硅块的A面为入刀面。将杂质和硬点少的A面作为入刀面,钢线比较容易进入晶体,大大降低了跳线、蹦边等不良记录,大大提高了硅片的出片率,降低了硅片切割成本,提高了企业的经济效率。 |
标签:多晶铸锭 硅块 多晶铸锭线切割方法 |
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