一种双端多室真空镀膜装置 |
| 申请号/专利号： |
200820186013.2 |
申 请 日： |
2008.10.10 |
| 名 称： |
一种双端多室真空镀膜装置 |
| 公开(公告)号： |
CN201272825 |
公开(公告)日： |
2009.07.15 |
| 主分类号： |
C23C14/22(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
C23C14/22(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
222000江苏省连云港市新浦区海宁工贸园 |
| 发明(设计)人： |
张明富;朱 群;王万忠 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
南京众联专利代理有限公司 |
代 理 人： |
王彦明 |
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想以后再联系，请 |
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| 专利描述： |
| 一种双端多室真空镀膜装置，包括镀膜室、真空预备室和工件架 车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内设有两条 工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜 室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，环形轨道分别通过轨道切换机 构与工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U” 形传输轨道的两端与两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有 变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有 真空锁和门阀，真空预备室和镀膜室都与抽真空系统相连接。借助中 间的真空预备室，可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室 不暴露大气，缩短了生产周期，提高了生产效率，提高了膜层质量。 |
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