太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀膜方法 |
申请号/专利号: |
200810018537.5 |
申 请 日: |
2008.02.21 |
名 称: |
太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀膜方法 |
公开(公告)号: |
CN101240944 |
公开(公告)日: |
2008.08.13 |
主分类号: |
F24J2/04(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
F24J2/04(2006.01)I;F24J2/48(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
213101江苏省常州市武进区横林镇横洛路2号 |
发明(设计)人: |
夏建业;郭廷玮;杨纪忠;汤留庚 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
常州市天龙专利事务所有限公司 |
代 理 人: |
夏海初 |
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专利描述: |
本发明公开了一种太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀 膜方法,其板芯由铜箔集热板与布设在集热板反面的铜质流体介质管焊接组 成,在集热板正面镀布有吸收膜,以其所述吸收膜是TiNxOy氮氧化钛选择 性吸收膜为主要特征。具有结构合理,热交换效果好和吸收率高等特点。其 镀膜方法是,采用直流双靶真空溅射镀膜机,以铜箔集热板为基材,钛靶为 阴极,以其依次按照铜箔集热板正面处理;铜箔集热板烘干;烘干铜箔集热 板置于镀膜室内,且镀膜室抽真空;采用Ar氩气轰击铜箔集热板正面,实 施二次清理;给钛靶接通直流电,同时充N、O气,经反应形成TiNxOy氮 氧化钛选择性吸收膜为主要特征。具有工艺先进,所述集热板与选择性吸收膜 粘合牢度强,镀层均匀,表面平整和吸收率高及发射率小等特点。 |
标签:博士 太阳平板集热器 镀膜 |
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