多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法 |
申请号/专利号: |
201010161178.6 |
申 请 日: |
2010.04.22 |
名 称: |
多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法 |
公开(公告)号: |
CN101818328A |
公开(公告)日: |
2010.09.01 |
主分类号: |
C23C14/34(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
213101 江苏省常州市武进区横林镇横洛路2号 |
发明(设计)人: |
郭廷玮;夏建业;范利宁 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
常州市天龙专利事务所有限公司 32105 |
代 理 人: |
夏海初 |
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专利描述: |
本发明公开了一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法,所述多层复合太阳能选择性吸收镀层,包括设置在玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层(1),TiN氮化钛阻热扩散层(2),TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3),以其制备方法依次包括溅射沉积铝红外反射层(1),TiN阻热扩散层(2)和TiNxOy选择性吸收层(3)为主要特征,还包括在选择性吸收层(3)表面反应溅射沉积Al2O3减反射保护层(4)。具有制备方法合理,制成品质量好,生产成本低等特点。 |
标签:博士新能源 吸收镀层 阻热扩散层 |
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