多功能磁控溅射连续镀膜机 |
| 申请号/专利号： |
200920038953.1 |
申 请 日： |
2009.04.30 |
| 名 称： |
多功能磁控溅射连续镀膜机 |
| 公开(公告)号： |
CN201424503 |
公开(公告)日： |
2010.03.17 |
| 主分类号： |
C23C14/56(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
213101江苏省常州市武进区横林镇横洛路2号 |
| 发明(设计)人： |
郭廷玮;夏建业 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
常州市天龙专利事务所有限公司 |
代 理 人： |
夏海初 |
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想以后再联系，请 |
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| 专利描述： |
| 本实用新型所公开的是一种多功能磁控溅射连续镀膜机，包括箱体，工 件承载车，工件承载车供电装置，溅射靶，抽真空和通气装置，电气控制装 置和总控制器，以其箱体具有依次相互连接贯通的在前过渡真空处理室，第 一镀膜室，第二镀膜室和在后过渡真空处理室；工件承载车设在所述箱体内 且由PLC控制器控制，而可前后往复运动；溅射靶是至少2组每组2个溅射 靶，且同样布置在第一镀膜室和第二镀膜室内为主要特征。具有结构合理， 生产工效高，能够镀布一层、二层和二层以上的多层复合镀层的特点，是一 种特别适合生产槽式太阳能热发电系统集热管内管的一种镀膜设备。 |
| 标签：博士新能源 镀膜机 |
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