高速沉积制造薄膜太阳电池的方法 |
| 申请号/专利号： |
201110220265.9 |
申 请 日： |
2011.08.03 |
| 名 称： |
高速沉积制造薄膜太阳电池的方法 |
| 公开(公告)号： |
CN102280527A |
公开(公告)日： |
2011.12.14 |
| 主分类号： |
H01L31/18(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
H01L31/18(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
157000 黑龙江省牡丹江市阳明区裕民路南莲花北路东对俄贸易加工园区 |
| 发明(设计)人： |
李兆廷;李鹏;王恩忠;林宏达;甄雁卉 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
牡丹江市丹江专利事务所 23205 |
代 理 人： |
董连书 |
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想以后再联系，请 |
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| 专利描述： |
| 本发明涉及高速沉积制造薄膜太阳电池的方法。使用本方法可以快速、高效、低成本制造的薄膜太阳电池，在沉积薄膜电池层时加入辅助气体Ar，有利于气体起辉，达到降低第一起辉电压、功率，降低第二起辉后正常沉积功率的目的，Ar离子还可以起辅助作用达到沉积速率的提升，可由一般的沉积速率2?/s提升到2.5?/s～3?/s，大大提升了薄膜太阳电池生产产能。其次，由于Ar的辅助，在正常沉积薄膜时可以大大降低高频电源的功率，功率密度由一般的0.3W/cm2降低为0.15W/cm2～0.25W/cm2。从而达到了提升产能、降低生产成本的目的。 |
| 标签：旭阳太阳能 太阳电池 薄膜 |
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