太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置 |
| 申请号/专利号： |
201220111852.4 |
申 请 日： |
2012.03.21 |
| 名 称： |
太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置 |
| 公开(公告)号： |
CN202601573U |
公开(公告)日： |
2012.12.12 |
| 主分类号： |
H01L21/306(2006.01)I |
分案原申请号： |
|
| 分 类 号： |
H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
|
优 先 权： |
|
| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
215555 江苏省常熟市辛庄光伏产业园光华环路32号 |
| 发明(设计)人： |
张强;施利君 *相关专利 |
国际申请： |
|
| 国际公布： |
|
进入国家日期： |
|
| 专利代理机构： |
|
代 理 人： |
|
| 想进一步了解专利详情，请 |
 |
想以后再联系，请 |
 |
|
|
| 专利描述： |
| 本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置，包括槽体和盖板，其特征在于：在槽体的刻蚀段后方设置过渡区，在过渡区的后方设置一抽风管；在抽风管的后方加装一把气刀，利用气刀的风力在其覆盖区域内形成一道气墙。本实用新型的有益效果是，利用气帘装置及其配套的元件所组成的系统，有效的防止了刻蚀段的酸气扩散。 |
| 标签：晶洲装备 湿法刻蚀机 保护装置 阳能硅电池 |
|
 |
|
相关产品 |
|
 |
|
|
|
太阳能光伏：