一种用于硅片传送的传送衔接机构 |
申请号/专利号: |
CN200920068242.9 |
申 请 日: |
2009.02.26 |
名 称: |
一种用于硅片传送的传送衔接机构 |
公开(公告)号: |
CN201374324Y |
公开(公告)日: |
2009.12.30 |
主分类号: |
H01L31/18 |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
H01L31/18; H01L21/677 |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
上海市闸北区江场三路36号; |
发明(设计)人: |
赵杰;郭爱军 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
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代 理 人: |
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想以后再联系,请 |
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专利描述: |
本实用新型公开了一种用于硅片传送的传送衔接机构,包括轮支架和衔接轮,所述轮支架固定安装在接片机上,所述衔接轮安装在轮支架上,并且搭接在烧结炉的送片链轮上,送片链轮上装有送片链带,硅片经烧结炉的送片链带输送、经衔接轮传送后输送到接片机上。本实用新型可以有效避免印刷机与烧结炉的送片衔接中出现卡碎硅片的现象发生,使过分弯曲的硅片也能够顺利的安全传送。 |
标签:晶澳太阳能 硅片 |
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