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一种硅片镀膜用石墨舟

申请号/专利号:

201520549348.6

申 请 日: 2015-07-28
名 称: 一种硅片镀膜用石墨舟
公开(公告)号: 204857687U 公开(公告)日: 2015-12-09
主分类号: H01L21/673(2006.01)I 分案原申请号:
分 类 号: H01L21/673(2006.01)I
颁 证 日: 优 先 权:
申请(专利权)人:

张家港国龙光伏科技有限公司

*相关专利
地 址: 215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇工业集中区映山路
发明(设计)人:

黄勤健 隆霹显 陈志运 王世贤 张华 陈清波 杜教峰

*相关专利
国际申请:
国际公布: 进入国家日期:
专利代理机构: 代 理 人:
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专利描述:
本实用新型涉及一种硅片镀膜用石墨舟,包括石墨舟片、上电极座、下电极座,所述石墨舟片底部设有支撑座,所述石墨舟片端部上端设有上电极隔板,所述石墨舟片端部底端设有下电极隔板,所述石墨舟片上设有卡点,至少两个所述卡点与被镀膜的硅片边缘卡紧;所述卡点包括与所述石墨舟片连接的放置座、设置于所述放置座两侧的卡爪,所述卡爪为圆台状且两侧对称设有一斜面。本实用新型在卡点的卡爪侧面设置弧面和斜面使得卡点与硅片点接触,有效减小镀膜时产生的卡点印,扩大镀膜面积,外观看起来更加均一;卡点与硅片的接触面为圆润的弧形设计,可以降低硅片在插取过程中产生蹦点的几率,提高外观的良率。
标签:国龙光伏 石墨舟
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