一种晶元清洗机用供料机 |
| 申请号/专利号： |
201520549333.X |
申 请 日： |
2015-07-28 |
| 名 称： |
一种晶元清洗机用供料机 |
| 公开(公告)号： |
204857697U |
公开(公告)日： |
2015-12-09 |
| 主分类号： |
H01L21/683(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
H01L21/683(2006.01)I H01L21/677(2006.01)I H01L21/66(2006.01)I H01L31/18(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇工业集中区映山路 |
| 发明(设计)人： |
吴方辉 隆霹显 陈志运 王世贤 张华 陈清波 杜教峰 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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想以后再联系，请 |
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| 专利描述： |
| 本实用新型涉及一种晶元清洗机用供料机，包括分片机架、传输机架、滑轨、限位板、立架，立架顶面设有滑动箱，滑动箱上设有横梁，滑动箱上设有纵向驱动机构，横梁设有升降气缸及吸盘；分片机架上设有升降电缸，升降电缸连接托板，分片机架设有横向传输带机构；传输机架设有纵向传输带，传输机架设有升降支架，升降支架设有横向带轮、横向输送带，传输机架设有举升气缸，升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。本实用新型利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动，通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向，自动化程度高，碎片率低；挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割，实现多个晶元的输送，生产效率高。 |
| 标签：国龙光伏 供料机 |
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