一种晶硅太阳电池石墨舟及其饱和处理方法 |
| 申请号/专利号： |
201710973994.9 |
申 请 日： |
2017-10-19 |
| 名 称： |
一种晶硅太阳电池石墨舟及其饱和处理方法 |
| 公开(公告)号： |
107742603A |
公开(公告)日： |
2018-02-27 |
| 主分类号： |
H01L21/02(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
H01L21/02(2006.01)I H01L21/673(2006.01)I C23C16/458(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
710043 陕西省西安市新城区幸福北路21号 |
| 发明(设计)人： |
郑新霞 豆维江 方霆 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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想以后再联系，请 |
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| 专利描述： |
| 本发明涉及一种晶硅太阳电池石墨舟及其饱和处理方法，通过饱和处理工艺使得述SiNx膜和晶硅太阳电池石墨舟之间还镀有一层SiC膜，可以起到保护石墨舟的作用，增加石墨舟的使用寿命，使石墨舟的使用寿命延长2年，在SiC膜基础上镀一层SiNx可有效的提高镀膜的均匀性，降低不良片的返工率，节省成本。 |
| 标签：黄河光伏 单晶硅 |
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