本发明公开了一种硅基薄膜太阳能电池活动夹具,属于太阳能电池技术领域。活动夹具主要技术特点在于支撑框架是一个具有侧框架接地的活动式框架,支撑框架上安装电极板所构成夹具,在夹具或夹具阵列之间设有防干扰的屏蔽装置。由腰部呈圆柱面的信号馈入组件三角形端面接触信号馈入口,位于阴极板背平面中心区域内下凹三角形面内,馈入射频/甚高频功率电源信号,阳极板接地。阴极板屏蔽罩有通孔,阴极板与屏蔽罩之间绝缘。效果在于以电极板中心面馈入,克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗。以射频/甚高频功率电源驱动可获得均匀电场大面积稳定放电,有效的消除驻波和趋肤效应,使产率提高,成本降低。 |