一种脉冲溅射电源 |
| 申请号/专利号： |
201520155011.7 |
申 请 日： |
2015-03-19 |
| 名 称： |
一种脉冲溅射电源 |
| 公开(公告)号： |
204442197U |
公开(公告)日： |
2015-07-01 |
| 主分类号： |
H02M9/06(2006.01)I |
分案原申请号： |
|
| 分 类 号： |
H02M9/06(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
|
优 先 权： |
|
| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西 |
| 发明(设计)人： |
窦久存 *相关专利 |
国际申请： |
|
| 国际公布： |
|
进入国家日期： |
|
| 专利代理机构： |
|
代 理 人： |
|
| 想进一步了解专利详情，请 |
 |
想以后再联系，请 |
 |
|
|
| 专利描述： |
| 一种脉冲溅射电源，包括顺序连接的三相整流电路、逆变电路、高频变压器、整流滤波电路、脉冲发生电路；所述脉冲发生电路的结构为：包括开关管V输出端连接于电感L抽头a端；电感L抽头o端连接于直流电源电路负极，电感L抽头b端与磁控溅射装置靶材相连，开关管V输入端与磁控溅射装置基板共同相连于直流电源电路正极；所述开关管V的控制端与PWM控制电路连接。本实用新型解决现有技术中功率开关管过多造成的电源可靠性下降，提供一种动态特性好、成本较低、控制简单可靠、具有能量回馈的一种脉冲溅射电源。 |
| 标签：标先电子 电源 |
|
 |
|
相关产品 |
|
 |
|
|
|
太阳能光伏：