高功率脉冲磁控溅射电源 |
| 申请号/专利号： |
201520154993.8 |
申 请 日： |
2015-03-19 |
| 名 称： |
高功率脉冲磁控溅射电源 |
| 公开(公告)号： |
204442196U |
公开(公告)日： |
2015-07-01 |
| 主分类号： |
H02M9/04(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
H02M9/04(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西 |
| 发明(设计)人： |
窦久存 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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想以后再联系，请 |
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| 专利描述： |
| 高功率脉冲磁控溅射电源其特征在于：该装置包括顺序连接的直流电源电路、电容组、脉冲发生电路；所述直流电源电路和脉冲发生电路分别与PWM控制电路连接。本实用新型由于采用以上技术方案，在保证4个IGBT导通和关断控制时间上相同的情况下，脉冲生成电路可在高电压下开启和关断，满足高功率脉冲磁控技术的输出高电压和大电流的要求，具有性能稳定、成本较低、安全可靠运行等优点。 |
| 标签：标先电子 电源 |
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