氮化硅喷雾系统 |
专利号:201120421451.4 |
申请人/专利权人:唐山海泰新能科技有限公司 |
发明设计人:胡立光 |
专利描述:本实用新型涉及流体喷涂技术领域,具体公开了一种氮化硅喷雾系统,包括:第一气源以及与第一气源相连的多个用气端,所述多个用气端至少一个为喷***,还包括与喷***相连的氮化硅溶液提供装置(2),在第一气源和至少 ... |
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专利描述:本实用新型提供一种用于坩埚的搅拌器和搅拌系统,所述的搅拌器包括:搅拌盘、搅拌杆和气动马达;其中:所述搅拌杆的一端连接于所述气动马达,所述搅拌杆的另一端连接于所述搅拌盘;所述气动马达驱动搅拌杆旋转, ... |
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