一种硅片清洗干燥方法 |
专利号:201110185248.6 |
申请人/专利权人:常州天合光能有限公司 |
发明设计人:贺洁;葛荣保 |
专利描述:本发明涉及一种硅片清洗干燥方法,其具体如下工艺步骤:(一)、对一多晶棒或单晶棒切片后,经预清洗,清洗后的潮湿硅片进入清洗机;(二)、在清洗机的末端清洗槽中加入70℃至80℃纯水;(三)、将在清洗机中经过前道清 ... |
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专利描述:本发明涉及属于硅片清洗技术领域,具体涉及一种太阳能硅片清洗后表面残留物的检测方法。所述检测方法包括以下步骤:将水溶性荧光粉添加至硅片清洗液中,硅片经超声波清洗和漂洗后,对待检硅片或水样滤纸进行紫外 ... |
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