探针台(LAB)

载物台(常规晶圆载物台）

尺寸

6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"

材质

不锈钢

平整度

≤±2.5μm

真空区域*

0，2"，4"，6"环形吸附**

真空控制

手动控制，独立真空区域

真空驱动方式

真空泵

载物台电性能

载物台信号导通，可选择接地或接信号

*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。

** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。

载物台移动基座

X-Y轴行程范围*

6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程

精度

1μm

R轴粗调角度范围

360°

R轴细调角度范围

±9°

微调精度

0.0001°/deg

Z轴细调行程范围

13mm

细调精度

1μm

Z轴快升行程

0~6mm, 可调

Z轴往复精度

<1μm

载物台快速拖出行程

100mm

*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。

探针座放置平台

材质

钢，表面沉镍处理

平台板尺寸*

可放置8个CM50或4个RF50探针座

平台板至载物台高度

1.496”(38mm)

探针座兼容性

可兼容磁力或真空吸附底座的探针座

Z轴细调行程范围

45mm

Z轴快升行程

350μm

Z轴往复精度

<1μm

*此处为6"探针台可放置的探针座数量，更大尺寸探针台详询客服人员。

显微镜移动基座

X-Y轴行程范围

2"*2"(50mm* 50mm)

X-Y轴精度

1μm

调焦行程

2"(50mm)

精度

1μm

Z轴粗调行程

100mm

气动升降行程

40mm