探针台(Mini)

载物台

尺寸

4"(101.6mm)

材质

不锈钢

平整度

≤±2.5μm

真空区域

0，2"，4"，环形吸附

真空控制

手动控制，独立真空区域

载物台电性能

载物台信号导通，可选择接地或接信号

载物台移动基座

X-Y轴行程范围

2"*2"(50.8mm*50.8mm)

精度

10μm

R轴粗调角度范围

360°

探针座放置平台

材质

沉镍不锈钢

平台板尺寸

可放置8个SE40或4个SE80

平台板至载物台高度

1.496"(38mm)

探针座兼容性

可兼容磁力或真空吸附底座的探针座

显微镜基座

支撑杆

不锈钢支柱

调焦行程

2"(50mm)

显微镜

类型

体视显微镜

光学放大倍率

15X-100X

其它信息

台体尺寸

440mm*280mm*490mm（W*D*H）

重量

21kg

设备环境要求

  电源

220V±10%

  真空

-8bar

  压缩空气

0.6MPa