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BOMB VS系列直流叠加脉冲偏压电源技术规格
BOMB VS系列偏压电源工作于二级高频变换模式，有单极脉冲、直流叠加脉冲、低压直流三种输出方式，主电源电压、副电源电压、脉冲宽度独立调整。灵活的输出方式适用于工具膜、装饰膜以及工艺开发等多种应用环境，特别是直流叠加脉冲的方式，在控制工件温度的同时，本底直流电压有效维持了偏压的连续状态，对工具镀膜十分有利。
电源功率范围
10-80kW [不包括副电源]
输入电源
AC380V±10％三相四线制 50-60HZ
输出方式
脉冲/ 直流叠加脉冲/低压直流
输出电压
0-180V 0-500V 0-1000V [主电源，脉冲输出时为峰值电压]
脉冲频率
40kHz
脉冲百分比
10-90％连续调节
a副电源功率
6kW/12kW
a 副电源输出电压
DC0-100V
灭弧时间
≤3μs
输出电压稳定率
主电源5% 副电源1%
冷却方式
10-50kW风冷60-80kW水冷
使用环境
环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85％
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa
通讯方式
模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
浙公网安备 33010602000811号
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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