300公斤CVD气相沉积回转窑间歇炉连续(sjx300)

设备用途:设备可用于粉体、颗粒物料、硅负极材料气相沉积碳包覆等工艺的高温裂变。

设备主体占地:6600mmx1800mmx2200mm(以***终设计方案为准)。

回转炉体尺寸:中830mmx4500mm(实际装填物料工作区尺寸)。

设备设计产能:炉内***大填充率约为25%;***大批次处理1-300kg。

炉体倾角:-4~15度(自动可调)/筒体转速:0.25~4转/分(变频可调)。

炉内气氛环境:满足高纯氨气(或者其他惰性气体)、乙炔、硅烷、甲烷等混合气体。

设备使用温度:设计***高1100℃℃，炉内恒温时间跟据客户工艺调，可长期运行于1000℃C。

加热方式:内嵌电阻丝模块圆周加热。

加热温区及控温个数:6个。

温控系统:岛电触摸屏+岛电模块(支持所有温度数据采集并导出PC)控温稳定性:+2℃℃/温控表精度:0.3℃℃/设备表面温升:<60C。电源:三相，380VAC,50HZ。

装机功率:180KW+10%。

报警保护:超温、断偶、超压，低压，气体泄漏等声光报警保护(指示灯指示)气体流量计:高精度不锈钢减压阀(调节进气压力)+质量流量控制器(控制显示实时流速和累计流速)+辅助氨气管路+玻璃转子流量计，为您预防断电无法供气的情况发生。