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产品特点：
² 多条工艺曲线
² 可编辑升温、恒温、降温
² 具有超温、断偶、气体流量超温设定警报
² 控制器为高精度温控仪，8寸触摸屏，全中文显示，可编程20条曲线，每条曲线有20段
² 三路进口数字MFC，接口为进口减压器、气动阀和各种接头
主要技术指标:
² 工艺管数：1—4管/台
² 石英管外径：Φ190mm
² 工作温度：300℃—900℃
² 静态恒温区：300—900℃时，760mm±1℃
² 单点精度：±1℃/24h
² 推拉舟速度：0—500mm/min可调
² 净化等级：100级
² 功率：输入AC380V，每管25KVA
² 供做5”以下硅片
浙公网安备 33010602000811号
供应商参考报价：面议
太阳能光伏：
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