太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置 |
| 申请号/专利号： |
201220111864.7 |
申 请 日： |
2012.03.21 |
| 名 称： |
太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置 |
| 公开(公告)号： |
CN202643916U |
公开(公告)日： |
2013.01.02 |
| 主分类号： |
C30B33/10(2006.01)I |
分案原申请号： |
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| 分 类 号： |
C30B33/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
| 颁 证 日： |
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优 先 权： |
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| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
215555 江苏省常熟市辛庄光伏产业园光华环路32号 |
| 发明(设计)人： |
施利君;张强 *相关专利 |
国际申请： |
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| 国际公布： |
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进入国家日期： |
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| 专利代理机构： |
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代 理 人： |
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| 专利描述： |
| 本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置，包括槽体，其特征在于：所述槽体上地板设有回流定位槽，回流定位槽上设有快拆封板，所述槽体回流侧板构成的上浸泡区域底部设有回流管。本实用新型的有益效果是：使得管路在维护过程中的可操作性得到显著的改善，减少维护成本且缩短维护时间，并且可以调整药液局部浓度。 |
| 标签：晶洲装备 太阳能硅电池 刻蚀机 |
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太阳能光伏：