专利描述:本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置,包括槽体,其特征在于:所述槽体上地板设有回流定位槽,回流定位槽上设有快拆封板,所述槽体回流侧板构成的上浸泡区域底部设有回流管。本实用新 ... |
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专利描述:本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机刻蚀段双层抽风系统,所述系统为水平传输的链式结构,其特征在于:所述系统包括槽体、第一层盖板和第二层盖板,在槽体刻蚀段入料方向与出料方向各有一个抽风口;所述 ... |
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专利描述:本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机气帘保护装置,包括槽体和盖板,其特征在于:在槽体的刻蚀段后方设置过渡区,在过渡区的后方设置一抽风管;在抽风管的后方加装一把气刀,利用气刀的风力在其覆盖区域 ... |
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