一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置 |
| 申请号/专利号： |
201210050673.9 |
申 请 日： |
2012-02-29 |
| 名 称： |
一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置 |
| 公开(公告)号： |
C30B13/20(2006.01)I |
公开(公告)日： |
|
| 主分类号： |
C30B13/20(2006.01)I |
分案原申请号： |
|
| 分 类 号： |
|
| 颁 证 日： |
|
优 先 权： |
|
| 申请(专利权)人： |
*相关专利 |
| 地 址： |
312300 浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号 |
| 发明(设计)人： |
欧阳鹏根 石刚 傅林坚 曹建伟 陈明杰 王丹涛 邱敏秀 蒋庆良 *相关专利 |
国际申请： |
|
| 国际公布： |
|
进入国家日期： |
|
| 专利代理机构： |
|
代 理 人： |
|
| 想进一步了解专利详情，请 |
 |
想以后再联系，请 |
 |
|
|
| 专利描述： |
| 本发明涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置。该装置包括反射环和主炉室窗口法兰；反射环外侧环设空心冷却管，冷却管的两端接至窗口法兰上的金属密封接头；金属密封伸出窗口法兰的外壁作为冷却水进出口；冷却管固定在位于竖直光轴上的支架一端；支架上还设有啮合的竖直提升丝杆，传动轴与提升丝杆通过锥齿轮对实现连接。本发明实现了区熔炉炉膛内部反射环的升降运动，运动可靠平稳，并能实现前后调整，方便反射环和加热线圈的对心，能够在熔区下形成有利的热场，提高单晶质量。通过调整反射环位置能够对单晶起到保温作用，降低晶体内部热应力，防止单晶因过冷而出现裂纹等缺陷。 |
| 标签：晶盛机电 单晶硅 |
|
 |
|
相关产品 |
|
 |
|
|
|
太阳能光伏：