一种硅片化学腐蚀用花篮 |
申请号/专利号: |
201520549440.2 |
申 请 日: |
2015-07-28 |
名 称: |
一种硅片化学腐蚀用花篮 |
公开(公告)号: |
204857764U |
公开(公告)日: |
2015-12-09 |
主分类号: |
H01L31/18(2006.01)I |
分案原申请号: |
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分 类 号: |
H01L31/18(2006.01)I H01L21/673(2006.01)I |
颁 证 日: |
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优 先 权: |
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申请(专利权)人: |
*相关专利 |
地 址: |
215000 江苏省苏州市张家港市凤凰镇工业集中区映山路 |
发明(设计)人: |
梅超 隆霹显 陈志运 王世贤 张华 陈清波 杜教峰 *相关专利 |
国际申请: |
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国际公布: |
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进入国家日期: |
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专利代理机构: |
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代 理 人: |
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专利描述: |
本实用新型涉及一种硅片化学腐蚀用花篮,包括花篮框架、底板,花篮框架设有角度调整机构;底板顶面设有定位条,定位条长度方向与底板的转动轴线一致,定位条侧面与底板顶面垂直,硅片盒底部设有滑条,滑条两端设有导向块,导向块外侧设有导向面,滑条上套有弹性体,弹性体对导向块施有朝向硅片盒外侧的弹力,定位条朝下倾斜的一侧有导向槽,导向槽设有与导向面贴合的驱动面,定位条朝上一侧设有容纳导向块的凹槽。本实用新型利用倾斜的底板使得硅片盒内的硅片向硅片盒一侧贴合,防止在硅片上形成杂乱的盒印,定位条防止硅片盒倾翻;滑条在硅片盒放到底板上时,滑条向下运动拉动硅片底部向下运动,防止在硅片顶面下端形成盒印。 |
标签:国龙光伏 硅片 花篮 |
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